電子束光刻機(jī)處理大尺寸版圖時(shí)，會(huì)把整體圖形拆分為多個(gè)獨(dú)立寫場(chǎng)完成分步曝光，再通過載臺(tái)移動(dòng)實(shí)現(xiàn)圖形拼接還原，拼接錯(cuò)位就是不同寫場(chǎng)銜接位置出現(xiàn)偏移、縫隙或者圖形重疊的現(xiàn)象，會(huì)直接造成微納結(jié)構(gòu)斷線、尺寸偏移，讓整體圖形和原始設(shè)計(jì)出現(xiàn)明顯偏差，是大尺寸圖形加工過程中十分容易碰到的問題中國(guó)光學(xué)期...。

造成拼接錯(cuò)位的誘因來(lái)源比較多元，載臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)是首要影響因素，載臺(tái)移動(dòng)過程中受到環(huán)境溫度波動(dòng)會(huì)產(chǎn)生微量熱脹冷縮，即使微小的形變，放到納米級(jí)加工尺度上就會(huì)被放大成為肉眼可觀測(cè)的拼接偏差；載臺(tái)位置反饋元器件出現(xiàn)狀態(tài)衰減，也會(huì)造成每一次步進(jìn)移動(dòng)的實(shí)際位移和指令輸出存在差值，多次累積之后錯(cuò)位現(xiàn)象會(huì)愈發(fā)明顯。

外部環(huán)境擾動(dòng)同樣不可忽視，設(shè)備周邊存在的低頻振動(dòng)會(huì)傳遞至整機(jī)，曝光過程中振動(dòng)干擾電子束的偏轉(zhuǎn)軌跡，同時(shí)干擾載臺(tái)定位，使得相鄰寫場(chǎng)之間無(wú)法準(zhǔn)確對(duì)齊。電子光學(xué)系統(tǒng)的束斑狀態(tài)變化也會(huì)帶來(lái)影響，不同寫場(chǎng)掃描階段束斑出現(xiàn)微小偏移、畸變，即便載臺(tái)定位完全準(zhǔn)確，銜接處依舊會(huì)出現(xiàn)圖形錯(cuò)位。另外版圖拆分處理不當(dāng)，寫場(chǎng)邊界圖形布局不合理，也會(huì)加劇拼接位置的缺陷表現(xiàn)。不同設(shè)備的載臺(tái)控制精度、抗振動(dòng)設(shè)計(jì)、溫度管控能力存在區(qū)別，出現(xiàn)拼接錯(cuò)位的觸發(fā)條件與表現(xiàn)程度也會(huì)存在差異。