掃描電鏡當中的背散射電子是入射電子與樣品原子核發生彈性散射之后折返出來的信號，其產出效率和樣品局部平均原子序數緊密相關，是區分多相組分的重要信號來源。在較低加速電壓條件下，入射電子的穿透深度有限，背散射信號主要取自樣品近表層；隨著加速電壓逐步提升，電子能夠向樣品更深區域滲透，采集到的信息會包含樣品亞表層的組分，表層薄層帶來的襯度貢獻隨之下降。

如果樣品內部存在埋藏顆粒、分層界面，提升加速電壓可以讓背散射信號捕捉到埋藏結構，但代價是空間分辨率出現衰減，信號對應的空間邊界變得模糊。不同型號掃描電鏡的背散射探測器布局、接收角度各不相同，對傾斜樣品、粗糙表面的信號采集效率存在區別，使得組分襯度、形貌襯度相互交織，需要結合觀測目標選擇適配的加速電壓，以此平衡分辨能力與組分識別效果。