關(guān)于電子束光刻機，在絕緣材質(zhì)基底開展電子束直寫加工時，經(jīng)常出現(xiàn)圖形歪斜扭曲、線條寬窄不均勻、局部圖形發(fā)生位移等畸變現(xiàn)象，同樣一套版圖與工藝參數(shù)，在導(dǎo)電基底上可以得到合格結(jié)果，切換至絕緣基底就會出現(xiàn)各類形態(tài)異常，嚴(yán)重時會直接導(dǎo)致整批加工失效ResearchGa...。

該問題核心來源于基底表面的電荷積累效應(yīng)，電子束持續(xù)轟擊絕緣材料表面，大量電子無法通過導(dǎo)電通路及時導(dǎo)走，電荷不斷堆積在樣品表層，形成局部的附加電場，這個電場會對后續(xù)入射的電子束產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)干擾，改變電子原本的運動軌跡，曝光得到的圖形就會偏離設(shè)計位置。

電荷積累的程度會隨著曝光面積、束流大小發(fā)生變化，密集圖形區(qū)域接收電子數(shù)量更多，電荷堆積會更加嚴(yán)重，畸變程度相比稀疏區(qū)域會更加突出。基底本身的絕緣性能厚薄不同，電荷消散的速度也不一樣，部分基底表面存在局部材質(zhì)不均勻，會造成電荷分布不均衡，進一步加重圖形局部扭曲。同時設(shè)備電子槍、中和裝置工作狀態(tài)波動，也會改變表面電荷的中和效果，使得同一批次不同樣品之間加工結(jié)果重復(fù)性變差。不同設(shè)備配套的電荷中和模塊性能不一樣，面對同種絕緣基底，發(fā)生畸變的難易程度也有所區(qū)別。