掃描電鏡依靠高能電子與樣品相互作用產(chǎn)生背散射電子信號(hào)來獲取成分襯度圖像，在多相組分、金屬合金、復(fù)合薄膜樣品觀測時(shí)，經(jīng)常出現(xiàn)畫面明暗分布紊亂、同材質(zhì)區(qū)域灰度不一致的現(xiàn)象，會(huì)干擾材料組分判斷與元素分布定性分析。該現(xiàn)象并不會(huì)隨著加速電壓簡單消失，即便樣品表面經(jīng)過平整拋光處理，同一物相的不同位置依然出現(xiàn)明顯的明暗差異，部分區(qū)域還會(huì)伴隨緩慢的灰度漂移，長時(shí)間連續(xù)掃描時(shí)圖像襯度持續(xù)變化。這種襯度偏差的形成和探測器接收角度、樣品表面微觀傾角、樣品內(nèi)部晶體取向都存在關(guān)聯(lián)，背散射電子的發(fā)射角度具備很強(qiáng)的方向性，當(dāng)樣品表面存在微小的臺(tái)階、起伏或者晶粒取向差異時(shí)，相同組分區(qū)域的背散射電子逃逸方向不同，進(jìn)入探測器有效接收窗口的電子數(shù)量隨之改變。不同型號(hào)掃描電鏡配備的背散射探測器布局、接收立體角、信號(hào)增益電路設(shè)計(jì)存在區(qū)別，環(huán)形探測器與分立分區(qū)探測器對(duì)傾角、取向帶來的襯度敏感度完全不一樣，部分機(jī)型探測器安裝位置偏置，對(duì)樣品傾斜角度帶來的信號(hào)波動(dòng)會(huì)更加明顯。樣品內(nèi)部的晶粒取向襯度也會(huì)疊加在成分襯度之上，即便元素組成完全相同的晶粒，因?yàn)橥ǖ佬?yīng)，電子散射概率發(fā)生變化，在圖像上呈現(xiàn)明暗反差，很容易被誤判為成分上的區(qū)別。在多層膜、顆粒復(fù)合體系、燒結(jié)陶瓷樣品的表征工作中，這種混合襯度會(huì)掩蓋真實(shí)的組分分布信息，給相含量統(tǒng)計(jì)、界面分析帶來較大干擾，需要結(jié)合能譜信號(hào)共同對(duì)照，才能區(qū)分開取向襯度和成分襯度帶來的灰度變化。