掃描電鏡在高倍連續(xù)觀測導(dǎo)熱性能偏弱的樣品時，電子束持續(xù)輻照帶來的局部熱量累積會引發(fā)圖像緩慢漂移、輪廓形變，適合高分子薄膜、絕緣有機(jī)樣品、多孔軟質(zhì)材料這類熱敏感試樣的觀測場景。肉眼能夠觀察到的表現(xiàn)為圖像在視野里慢慢偏移，長時間定點聚焦觀測之后，原本筆直的線條、規(guī)整的顆粒輪廓出現(xiàn)扭曲，放大倍率越高、束流越大，漂移速度越快，暫停束流照射等待一段時間后，圖像位置又會慢慢回落。電子束持續(xù)轟擊樣品表面，能量不斷沉積在微小的輻照區(qū)域，低導(dǎo)熱樣品無法快速將熱量導(dǎo)出，輻照點產(chǎn)生局部熱膨脹，樣品表面發(fā)生微米乃至納米級的形變，直接改變樣品表面和物鏡、電子束焦點之間的相對位置。不同品牌型號掃描電鏡的物鏡工作距離范圍、束斑熱載、樣品臺導(dǎo)熱結(jié)構(gòu)存在明顯差異，部分設(shè)備樣品座導(dǎo)熱路徑短、接觸散熱更好，熱漂移的發(fā)展速度會顯著放緩，而搭配絕緣樣品托、薄支撐膜載體的測試工況下，熱量更容易堆積。熱漂移是一個隨輻照時長持續(xù)發(fā)展的動態(tài)過程，前期漂移速率較快，隨著局部溫度逐步趨于穩(wěn)定后速率有所下降，但是只要電子束持續(xù)定點照射，形變就會持續(xù)存在。對于需要采集高倍連續(xù)圖像、序列掃描、原位觀測的實驗來說，這種緩慢位移會造成圖像錯位、拼接失效，很難獲取穩(wěn)定清晰的系列照片，也會影響納米尺度形貌尺寸的定量測量。