臺式掃描電鏡長時間連續(xù)觀測有機、含碳類樣品，會逐步出現(xiàn)圖像清晰度持續(xù)下降的現(xiàn)象，畫面上出現(xiàn)暗斑、條紋，反復對焦也無法恢復成像質量，這大多是樣品污染帶來的影響。電子束持續(xù)照射樣品表面時，樣品內部的揮發(fā)性有機組分發(fā)生分解，釋放含碳物質，這些碳化物會在電子束掃描區(qū)域不斷沉積，在樣品表面形成一層薄碳膜。碳膜會遮擋樣品真實微觀結構，同時改變二次電子發(fā)射效率，造成成像信號衰減，畫面對比度下降。

污染形成速度和樣品本身屬性密切相關，含樹脂、光刻膠、高分子材料的樣品，在電子束輻照下更容易析出碳質污染物。電子束的加速電壓、束流大小也會影響沉積速率，束流越大、加速電壓越高，樣品表面能量密度越高，有機組分分解速度越快，碳污染堆積也就越迅速。在同一個位置長時間定點觀測、反復放大掃描，會加速污染物在局部區(qū)域堆積，形成固定暗斑。

腔體內部殘留的微量油氣、水汽，同樣會參與污染過程。真空系統(tǒng)內殘留的碳氫化合物，在高能電子束作用下發(fā)生裂解，附著在樣品表面疊加污染。這類污染一旦形成，單純調整電鏡參數(shù)無法消除，持續(xù)觀測會不斷加厚碳層，掩蓋樣品表面細微缺陷。

在樣品制備階段，充分對有機樣品做除氣處理，減少樣品內部殘留溶劑，能夠從源頭降低污染產(chǎn)生。觀測時盡量避免長時間在同一位置高倍定點掃描，合理設置束流與加速電壓，降低電子束對樣品的輻照損傷。若樣品表面已經(jīng)形成碳污染，可采用等離子清洗的方式去除表面碳沉積層，恢復樣品表面原始狀態(tài)，保障后續(xù)微觀觀測的成像清晰度。