臺式掃描電鏡在觀測絕緣樣品時，極易出現荷電現象，直觀表現為畫面局部過亮、圖像漂移、畫面閃爍，嚴重時會產生大面積白色亮斑，掩蓋樣品本身的微觀形貌，無法開展尺寸測量與缺陷判定，是臺式掃描電鏡使用過程中頻繁遇到的成像問題。絕緣樣品本身不具備導電能力，電子束持續轟擊樣品表面，入射電子不斷在樣品表面積累，而電荷無法快速導出，就會在樣品表層形成局部靜電場。該靜電場會改變入射電子束的運動軌跡，使電子束發生偏移，掃描位置出現偏差，反映在圖像上就是畫面漂移、圖形扭曲。

荷電產生的靜電場同樣會干擾二次電子信號的收集，帶電區域會額外吸引或者排斥二次電子，造成局部信號強度異常，形成突兀亮斑。樣品表面的形貌起伏會讓電荷分布不均勻，凸起位置更容易積聚電荷，亮斑大多集中在樣品棱角、顆粒凸起處。樣品厚度、表面粗糙度都會影響電荷積累速度，樣品越厚、表面起伏越大，荷電效應越明顯。觀測參數同樣會影響荷電強弱，較高加速電壓會增大電子入射深度，加劇電荷累積；掃描速度過慢，單位區域接收電子劑量更高，荷電現象會進一步加重。

很多用戶會選擇噴鍍導電膜來緩解荷電，但如果鍍膜厚度控制不當，薄膜太厚會掩蓋樣品原本的細微微觀結構，薄膜太薄則無法形成連續導電通路，電荷依舊會持續積聚。另外樣品與樣品臺之間接觸不良，導電膠涂抹面積不足，也會阻礙電荷向樣品臺釋放，削弱導電疏導效果。

想要降低荷電帶來的成像干擾，可適當降低加速電壓，減小電子束入射能量，降低電荷積累速率；優化掃描參數，提高掃描速度，減少單位面積的電子輻照量；采用薄導電膜噴涂，保證導電層連續的同時，盡可能保留樣品原始形貌。對于部分不耐鍍膜的樣品，也可以選用低真空觀測模式，借助腔體內部少量氣體中和表面積聚電荷，獲得真實清晰的微觀圖像。