電子束光刻機(jī)開展大面積、長時間連續(xù)直寫作業(yè)時，會出現(xiàn)圖形位置逐步偏移，同一版圖前后書寫區(qū)域?qū)ξ黄钭兇螅植繄D形錯位，尺寸精度持續(xù)下滑的情況。設(shè)備開機(jī)短時間作業(yè)狀態(tài)正常，隨著曝光時長增加，偏移現(xiàn)象逐步加重，重啟設(shè)備之后偏差會短暫緩解，再次長時間加工故障又會復(fù)現(xiàn)。

造成束流漂移有多方面誘因，電子槍部件持續(xù)工作產(chǎn)生熱積累，磁透鏡組件溫度發(fā)生微小變化，磁場輸出穩(wěn)定性受到干擾，直接改變電子束的束斑位置；外部環(huán)境的溫度緩慢波動、地面低頻振動、周邊設(shè)備帶來的電磁干擾，也會持續(xù)對束流偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)與載臺定位系統(tǒng)產(chǎn)生擾動。載臺運(yùn)動過程中自身發(fā)熱，會帶來微小的熱形變，大面積加工時位移累積，進(jìn)一步放大圖形位置偏差。

高壓供電模塊輸出的微小波動，也會造成電子束加速狀態(tài)不穩(wěn)定，加劇位置漂移。不同設(shè)備的熱控能力、磁透鏡抗干擾設(shè)計、載臺溫控體系存在差異，發(fā)生漂移的程度、耐受連續(xù)曝光時長各不相同。作業(yè)前預(yù)留充足的設(shè)備熱機(jī)穩(wěn)定時間，降低環(huán)境溫度起伏，規(guī)避電磁干擾源，定期完成束流與偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)校準(zhǔn)，可以有效緩解該類故障現(xiàn)象。