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掃描電鏡樣品尺寸過大如何固定

日期:2026-03-04

當掃描電鏡樣品尺寸過大時,固定樣品的關鍵是確保穩定、導電和安全,避免震動、位移或接觸不良。不同品牌 SEM 和樣品臺設計略有差異,但基本原則一致。

固定方法

使用導電膠或導電膠帶

將樣品貼附在樣品臺上,確保機械固定和導電性。

注意不要遮擋成像區域,膠帶厚度不宜過厚。

機械夾具或定制樣品架

對于厚重或大尺寸樣品,可用螺絲夾、彈簧夾或定制支架固定。

確保夾持點遠離成像區域,避免引入陰影或干擾。

真空吸附或壓板固定

一些 SEM 樣品臺支持輕微真空吸附或壓板固定大尺寸樣品。

適合平整、重量不太大的樣品。

分段測量

如果樣品過大無法整體放入腔體,可考慮裁切或分區掃描。

通過拼接圖像獲得全貌,同時避免單次掃描樣品不穩。


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作者:澤攸科技