掃描電鏡依靠二次電子信號采集樣品表面形貌信息，二次電子從樣品表面發(fā)射時具備發(fā)散特性，不同位置發(fā)射的電子出射方向各不相同，探測器擁有固定的接收角度范圍，只有落入收集窗口內的電子才能夠被有效捕獲。

樣品表面存在傾斜坡面、臺階、凹陷以及凸起結構時，各個微區(qū)域的二次電子發(fā)射方向與探測器夾角持續(xù)變化，直接造成同等高度起伏的結構輸出信號強弱不一致，成像襯度和真實幾何形貌產生偏差。不同型號掃描電鏡的探測器安裝位置、接收立體角、前置收集電場參數(shù)性能各不相同，襯度失真的表現(xiàn)程度也存在明顯區(qū)別，部分側裝式探測器對于背向坡面的收集能力偏弱，很容易在圖像上形成陰影區(qū)域，掩蓋該位置細微的表面缺陷。

這種襯度失真并不是樣品本身材質或者形貌發(fā)生改變，只是信號采集的方向性帶來的成像假象，在觀測微溝槽側壁、三維立體微結構、傾斜刻蝕剖面時影響尤為突出，容易誤導對樣品真實輪廓、臺階高度、側壁角度的判斷，屬于形貌觀測過程中典型的信號采集固有特性。