掃描電鏡（SEM）出現(xiàn)掃描線不直，通常是偏差或畸變問題，可能來源于電子光學(xué)系統(tǒng)、掃描控制或機(jī)械因素。要解決，需要針對(duì)不同原因進(jìn)行調(diào)整。下面是比較系統(tǒng)的思路：

1. 檢查掃描線校正

SEM 通常有 stigmator（像差校正器）和掃描校正功能。

如果 X/Y 掃描放大器不平衡，會(huì)導(dǎo)致線條彎曲。

使用內(nèi)置的 scan calibration / raster correction 對(duì) X/Y 掃描線性進(jìn)行校正。

2. 調(diào)整掃描速度

高速掃描容易因?yàn)榭刂茙捇蛐盘?hào)延遲出現(xiàn)彎曲或 S 形線條。

先降低掃描速度，觀察線條是否變直。

如果慢速可以直，說明問題主要是控制系統(tǒng)響應(yīng)不足。

3. 檢查電子束偏轉(zhuǎn)線性

掃描線不直可能是 電子束偏轉(zhuǎn)非線性。

調(diào)整 SEM 的 beam alignment / deflection linearity，確保掃描區(qū)中心與邊緣線性一致。

4. 檢查機(jī)械和樣品因素

樣品臺(tái)傾斜或松動(dòng)會(huì)讓掃描線呈傾斜或彎曲。

樣品表面不平整也會(huì)讓高倍率下線條看起來彎曲。

保證臺(tái)面穩(wěn)固，樣品平整。

5. 像差和電子光學(xué)因素

透鏡不對(duì)中或像差未校正，尤其在高倍率下，會(huì)放大掃描線畸變。

調(diào)整 focus / stigmator / alignment 使像清晰、掃描線直。

6. 檢查掃描信號(hào)

如果掃描信號(hào)有抖動(dòng)或噪聲，會(huì)導(dǎo)致線條不直。

檢查掃描放大器、驅(qū)動(dòng)電源和接地，避免干擾。