在掃描電鏡觀察過程中，非導電樣品或導電性差的區域容易出現充電現象，導致圖像失真。快速識別充電有助于及時調整參數，避免錯誤判斷樣貌。

掃描電鏡充電現象的快速識別方法

圖像亮度突然不均或局部發白

畫面出現“局部過亮、發白、過曝”的區域，通常表示電子堆積導致信號飽和。

圖像邊緣漂移或整體飄動

圖像出現緩慢滑動、漂移、扭曲變化，是典型的正負電荷積累造成的偏轉效應。

細節突然模糊，分辨率下降

微結構本來清晰，但隨著掃描時間延長逐漸模糊，說明電荷在不斷累積。

出現不規則亮點或閃爍

畫面中出現瞬間亮點、跳動點或閃爍，是電子束被偏轉的常見表現。

同一位置不同倍率下形貌不一致

低倍正常、高倍失真或漂移，說明高倍下充電更明顯，是快速判斷的有效方式。

調低電壓后圖像明顯改善

加速電壓從 15 kV 降到 5 kV 或 1–2 kV 后圖像變穩，基本可確認是充電問題。