掃描電鏡（SEM）圖像模糊是一個(gè)常見(jiàn)問(wèn)題，通常和 儀器狀態(tài)、成像參數(shù)、樣品條件有關(guān)。常見(jiàn)原因主要有以下幾類：

1. 聚焦不良

電子束沒(méi)有準(zhǔn)確聚焦到樣品表面。

工作距離（WD）設(shè)置不合適。

需要重新調(diào)節(jié) 對(duì)焦（Focus） 和 消像散器（Stigmator）。

2. 像散（Astigmatism）

電子束在不同方向上的聚焦程度不同，導(dǎo)致圖像在某些方向清晰、某些方向模糊。

可通過(guò) 消像散校正 來(lái)解決。

3. 樣品問(wèn)題

表面不平整，深凹或厚樣品導(dǎo)致部分區(qū)域不在焦平面上。

非導(dǎo)電樣品未鍍膜，表面出現(xiàn) 充電效應(yīng)，使圖像漂移、模糊。

樣品污染（如碳污染、油污）影響電子信號(hào)。

4. 電子束參數(shù)不合適

束流過(guò)大：導(dǎo)致樣品表面損傷或充電加劇。

加速電壓過(guò)低：電子穿透深度不夠，信號(hào)不足。

掃描速度過(guò)快：采樣點(diǎn)少，圖像不清晰。

5. 環(huán)境和機(jī)械因素

實(shí)驗(yàn)室震動(dòng)（地面不穩(wěn)、泵運(yùn)行引起的振動(dòng)）。

電磁干擾（如大功率電器、附近電磁場(chǎng)）。

真空度不夠，導(dǎo)致電子束散射。

6. 操作不當(dāng)

未等真空穩(wěn)定就成像。

樣品臺(tái)高度或角度設(shè)置不合理。