亮暗對比是掃描電鏡（SEM）圖像基本的特征之一。亮暗對比的形成，主要來自樣品表面與電子束相互作用后信號的差異。可以從幾個(gè)方面理解：

1. 材料成分差異

不同元素的原子序數(shù)不同，對入射電子的散射和能量損失程度不同。

原子序數(shù)高的區(qū)域（比如金、鉑等重元素）會產(chǎn)生更強(qiáng)的背散射電子信號，圖像上顯得更亮。

原子序數(shù)低的區(qū)域（如碳、氧等輕元素）背散射電子少，看起來更暗。

這就是所謂的 成分對比。

2. 表面形貌差異

表面形貌會影響二次電子的發(fā)射量。

當(dāng)表面有 凸起、銳利邊緣 時(shí)，二次電子容易逃逸出來，信號更強(qiáng)，局部顯得更亮。

在 凹陷或陡峭谷底，電子容易被重新吸收或難以逸出，信號減弱，圖像就暗。

這就是 形貌對比，通常用二次電子像來體現(xiàn)。

3. 樣品電荷效應(yīng)

非導(dǎo)電樣品在電子束轟擊下會積累電荷，造成電子逸出不均：

可能出現(xiàn)局部過亮（電子積聚，增強(qiáng)信號）。

或者過暗（電荷排斥入射電子，信號減弱）。

4. 電子束與樣品的入射角

電子束傾斜入射或樣品表面角度不同，也會影響信號采集。傾斜表面往往有更高的二次電子產(chǎn)額，看起來更亮。