掃描電鏡依靠高能電子束掃描樣品表面采集二次電子信號，對于絕緣樣品，入射電子持續(xù)在表面積累，容易產(chǎn)生荷電效應(yīng)，是掃描電鏡成像過程中非常常見的成像缺陷，會直接干擾形貌觀測與尺寸測量。

現(xiàn)象：掃描電鏡成像畫面隨掃描時間緩慢漂移，圖像上出現(xiàn)無規(guī)律亮斑、暗斑，部分區(qū)域出現(xiàn)圖像拉伸、扭曲；調(diào)高放大倍數(shù)時漂移現(xiàn)象更加明顯，反復(fù)聚焦后圖像位置依舊偏移，更換加速電壓后斑塊分布發(fā)生變化，但無法消除。

成因：掃描電鏡電子束持續(xù)轟擊絕緣樣品，樣品表面電荷無法及時導(dǎo)走，不斷積累形成局部電場。該電場會偏轉(zhuǎn)入射電子束以及逸出的二次電子，改變信號采集位置與信號強(qiáng)度。不同品牌型號掃描電鏡的消荷電配件、低真空模式的性能參數(shù)存在明顯差異，部分機(jī)型低真空下的氣體電離中和能力有限，厚絕緣樣品依舊會出現(xiàn)荷電問題。樣品表面粗糙度不均也會造成電荷分布不一致，加劇明暗斑塊。

改善方案：使用掃描電鏡觀測絕緣樣品前，在樣品表面鍍一層薄導(dǎo)電膜，優(yōu)先選用碳膜或者金鈀膜，保障電荷導(dǎo)出；啟用掃描電鏡低真空模式，利用腔體內(nèi)殘余氣體電離產(chǎn)生離子中和表面積累電荷；適當(dāng)降低掃描電鏡加速電壓，減小入射電子的穿透深度與電荷注入量；減小束流，降低單位面積電子注入速率；調(diào)整掃描采集參數(shù)，使用慢速掃描配合圖像平均功能，緩解瞬時電荷波動帶來的畫面抖動。