掃描電鏡觀測具有高低落差的樣品時，容易出現(xiàn)圖像景深不足問題。現(xiàn)象表現(xiàn)為樣品凸起部位成像清晰，但凹陷底層區(qū)域失焦模糊，三維結(jié)構(gòu)無法同時完整呈現(xiàn)，高倍率下該缺陷更加明顯。不同品牌設(shè)備物鏡設(shè)計、可變光闌配置參數(shù)不同，景深調(diào)節(jié)能力存在差距，大束流工況下差異會進(jìn)一步放大。

成因：選用大孔徑光闌，會提升信號強(qiáng)度，但同時縮短景深；加速電壓過高，電子束焦深變短；樣品表面形貌起伏過大，超出當(dāng)前參數(shù)下的有效焦深范圍。

改善方案：更換更小孔徑的物鏡光闌，延長有效景深；適當(dāng)降低加速電壓，兼顧形貌襯度與焦深；采用傾斜樣品臺，減少樣品高度方向上的高差；結(jié)合設(shè)備參數(shù)選型，優(yōu)先選用支持動態(tài)聚焦功能的機(jī)型，對高低不同區(qū)域分別做焦點(diǎn)補(bǔ)償。