掃描電鏡（SEM）的成像質(zhì)量，很大程度取決于樣品制備是否規(guī)范。正確制備不僅圖像清晰，還能保護(hù)設(shè)備不受污染、延長(zhǎng)使用壽命。

樣品必須保持干燥、潔凈、無(wú)松散顆粒。潮濕樣品會(huì)在真空下釋放氣體，導(dǎo)致真空度下降、成像漂移，還會(huì)污染腔體和探頭。表面油污、灰塵會(huì)掩蓋真實(shí)結(jié)構(gòu)，造成圖像模糊、異常亮點(diǎn)。

導(dǎo)電性差的樣品必須做導(dǎo)電處理，否則會(huì)出現(xiàn)電荷積累，表現(xiàn)為圖像發(fā)亮、漂移、閃爍或細(xì)節(jié)丟失。處理時(shí)要均勻覆蓋，避免過(guò)厚掩蓋微觀結(jié)構(gòu)。

樣品大小和高度要符合設(shè)備要求，固定必須牢固，防止在抽真空過(guò)程中松動(dòng)、脫落，損壞探頭和內(nèi)部組件。樣品高度不宜過(guò)高，避免撞擊鏡頭。

粉末樣品需均勻分散，不堆積、不脫落，必要時(shí)使用導(dǎo)電膠固定，防止粉末被吸入設(shè)備內(nèi)部造成故障。

樣品制備完成后盡快觀測(cè)，減少在空氣中暴露時(shí)間，避免氧化或二次污染，保證成像真實(shí)、穩(wěn)定。