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掃描電鏡弱信號樣品的成像技巧

日期:2025-12-17

在掃描電鏡中,弱信號樣品常因二次電子產額低或噪聲占比高而成像困難,需要通過參數和操作配合來改善圖像質量。

降低加速電壓

低電壓可增強表面二次電子信號,提高對比度。

同時可減輕充電和束損傷。

優化工作距離

在合適范圍內適當縮短工作距離,有利于提高信號收集效率。

減慢掃描速度、增加積分

降低掃描速度或開啟幀平均,可提高信噪比。

選擇合適的探測器

優先使用二次電子探測器,弱信號時比背散射更敏感。

改善樣品導電性

對非導電樣品進行輕度噴鍍,可明顯提升信號穩定性。


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作者:澤攸科技