掃描電鏡在成像采集過程中，畫面出現(xiàn)規(guī)律重復(fù)的橫向或者縱向條紋，掩蓋樣品真實(shí)微觀形貌，降低圖像分辨率，是觀測中經(jīng)常遇到的成像干擾問題。這類橫紋會(huì)疊加在樣品原始圖像之上，細(xì)微的表面結(jié)構(gòu)被條紋覆蓋，對于納米尺度樣品的尺寸測量、缺陷觀察帶來很大阻礙，嚴(yán)重時(shí)圖像完全無法用于數(shù)據(jù)分析。

周期性橫紋來源分為設(shè)備電路、掃描控制系統(tǒng)以及外部環(huán)境干擾三大類。電源供電紋波是常見誘因，供電電壓存在周期性波動(dòng)，會(huì)造成電子束強(qiáng)度發(fā)生同步變化，體現(xiàn)在圖像上形成等間距條紋。其次掃描線圈驅(qū)動(dòng)電路噪聲、信號(hào)放大采集模塊故障，也會(huì)同步引入周期性信號(hào)疊加在成像信號(hào)中。外界干擾同樣不可忽視，附近變頻設(shè)備、電機(jī)、照明電源產(chǎn)生的交變電磁場，會(huì)干擾掃描偏轉(zhuǎn)回路。不同品牌型號(hào)設(shè)備，電磁屏蔽設(shè)計(jì)、信號(hào)濾波電路性能參數(shù)存在差異，抗干擾能力區(qū)別明顯，同一環(huán)境下部分設(shè)備更容易出現(xiàn)條紋噪聲。

想要消除周期性橫紋，需要按照由簡到繁的順序排查優(yōu)化。優(yōu)先檢查設(shè)備供電條件，可使用獨(dú)立穩(wěn)壓電源，減少同回路大功率負(fù)載；排查周邊用電設(shè)備，將變頻設(shè)備、電機(jī)等干擾源遠(yuǎn)離電鏡主機(jī)。檢查接地系統(tǒng)，保證設(shè)備接地良好，降低共模噪聲。軟件層面調(diào)整掃描速度，切換不同掃描模式，觀察條紋是否變化，區(qū)分干擾來源。若調(diào)整外部環(huán)境無改善，則需要檢修掃描驅(qū)動(dòng)、探測器信號(hào)放大模塊，檢查線路屏蔽層有無破損。定期維護(hù)探測器，清理信號(hào)接口氧化，減少接觸帶來的雜波。通過環(huán)境整改、電路排查與硬件維護(hù)，能夠有效抑制周期性橫紋，獲取干凈可靠的微觀圖像。