掃描電鏡觀測絕緣樣品時，樣品荷電是常見的成像干擾問題。高能入射電子持續打在樣品表面，樣品本身導電能力弱，入射電荷無法快速導出，不斷積聚在表層，形成局部靜電場。這個電場會偏轉后續入射電子束，同時改變二次電子的收集軌跡，圖像上會出現大面積亮斑、明暗漂移，線條邊緣出現扭曲，嚴重時畫面閃爍，無法穩定獲取形貌照片。

荷電現象的強弱，和樣品厚度、電阻率、加速電壓直接相關。樣品越厚、絕緣性越強，電荷積累速度越快；較高的加速電壓會增大電子注入量，進一步加重荷電效應。很多操作人員會選擇直接降低加速電壓來緩解問題，但電壓過低會損失圖像分辨率，無法觀察精細微觀結構。

常用的改善方式分為幾種，對樣品做噴金或者噴碳導電膜處理，在樣品表層構建導電通路，把積累的電荷傳導至樣品臺；也可以選用低真空觀測模式，利用腔體內殘余氣體中和表面積累電荷；還可以適當減小束流、縮短單次掃描時間，減少單位面積接收的電子總量。實際觀測時需要根據樣品材質、目標分辨率綜合選擇方案，不同樣品對應的處理方案效果差異較大。