臺(tái)式掃描電鏡觀測(cè)絕緣、弱導(dǎo)電類樣品時(shí)，畫面局部會(huì)出現(xiàn)不規(guī)則亮斑、成片過曝區(qū)域，部分場(chǎng)景還伴隨圖像局部扭曲偏移，這類現(xiàn)象大多來自樣品表面的荷電效應(yīng)。亮斑會(huì)掩蓋樣品真實(shí)微觀形貌，干擾表面缺陷判別與尺寸測(cè)量，嚴(yán)重時(shí)還會(huì)對(duì)樣品表層造成不可逆損傷。

荷電效應(yīng)的本質(zhì)是電子束持續(xù)轟擊樣品，輸入的電子無法及時(shí)導(dǎo)出，電荷在樣品局部不斷堆積，形成局部電場(chǎng)，進(jìn)一步偏轉(zhuǎn)入射電子束與二次電子信號(hào)，成像出現(xiàn)異常。很多高分子材料、陶瓷、氧化物鍍層、玻璃類樣品本身導(dǎo)電能力弱，如果前期樣品處理不到位，就極易出現(xiàn)該類現(xiàn)象。即便完成導(dǎo)電鍍膜處理，鍍膜層厚薄不均、樣品尖角凸起位置鍍膜覆蓋率不足，依舊會(huì)產(chǎn)生局部荷電亮斑。樣品安裝時(shí)導(dǎo)電接觸不充分，樣品底座、導(dǎo)電膠貼合存在縫隙，電荷無法順利傳導(dǎo)至樣品臺(tái)，同樣會(huì)加重電荷積聚問題。

外部操作參數(shù)同樣會(huì)帶來明顯影響，加速電壓設(shè)置偏高、束流過大，會(huì)增大電子注入量，加劇荷電表現(xiàn)；掃描速度過慢，電子束長(zhǎng)時(shí)間停留在同一位置，也會(huì)讓局部電荷持續(xù)累積。不同設(shè)備硬件條件存在差異，部分機(jī)型自帶荷電抑制功能，能夠一定程度緩解現(xiàn)象，但無法完全抵消樣品本身帶來的電荷堆積問題。環(huán)境濕度波動(dòng)也會(huì)間接改變樣品表面微弱導(dǎo)電能力，使得同一批樣品時(shí)而出現(xiàn)亮斑、時(shí)而成像正常。