臺(tái)式掃描電鏡成像過程當(dāng)中，會(huì)出現(xiàn)整張畫面呈現(xiàn)霧狀朦朧，整體對(duì)比度下降，表面細(xì)節(jié)被一層薄霧覆蓋，即便調(diào)整亮度、對(duì)比度參數(shù)，依舊無法還原樣品真實(shí)微觀形貌，細(xì)微凹凸結(jié)構(gòu)、微小缺陷難以分辨，無法完成形貌觀察與尺寸測(cè)量工作。不同品牌型號(hào)臺(tái)式掃描電鏡的真空機(jī)組配置、光闌結(jié)構(gòu)、信號(hào)采集模塊性能不一樣，出現(xiàn)霧狀朦朧圖像的觸發(fā)條件與表現(xiàn)狀態(tài)也存在區(qū)別，需要結(jié)合設(shè)備實(shí)際狀態(tài)逐一甄別。

樣品析出揮發(fā)物帶來腔體內(nèi)部污染是主要誘因之一。部分高分子、復(fù)合材料樣品，在電子束照射以及真空環(huán)境條件下，會(huì)持續(xù)釋放揮發(fā)性有機(jī)組分，這些物質(zhì)會(huì)在電子束路徑上發(fā)生聚合沉積，一方面附著在樣品觀測(cè)區(qū)域表面形成一層薄膜，掩蓋原本的微觀結(jié)構(gòu)；另一方面會(huì)附著在光闌、探測(cè)器窗口位置，降低電子信號(hào)的傳輸與收集效率，讓整張圖像呈現(xiàn)灰蒙蒙的霧感。粉末樣品處理不到位，表面殘留溶劑、水分，進(jìn)入真空腔之后持續(xù)出氣，同樣會(huì)造成類似成像現(xiàn)象。

真空環(huán)境達(dá)不到理想狀態(tài)也會(huì)誘發(fā)朦朧成像。腔體存在微漏、前級(jí)泵性能衰減，腔內(nèi)殘余氣體分子含量偏高，入射電子束和氣體分子發(fā)生碰撞發(fā)生散射，電子運(yùn)動(dòng)軌跡被干擾，到達(dá)樣品表面的有效電子數(shù)量減少，二次電子信號(hào)受到散射干擾，信噪比顯著下滑，畫面就會(huì)整體發(fā)霧。腔體內(nèi)部積累長期使用形成的碳?xì)湮廴疚铮娮邮Z擊下污染物持續(xù)擴(kuò)散，也會(huì)加劇圖像朦朧的情況。

電子光學(xué)部件的狀態(tài)同樣不可忽視，光闌表面積攢污染物，會(huì)改變電子束的束斑形態(tài)，造成電子束散射加劇，直接拉低成像清晰度；探測(cè)器表面被污染，信號(hào)接收靈敏度下降，采集到的有效信號(hào)變少，噪聲占比提升，畫面就會(huì)出現(xiàn)霧蒙蒙的觀感。遇到這類成像異常，需要優(yōu)先核查樣品出氣特性，確認(rèn)腔體真空狀態(tài)，再依次檢查光闌與探測(cè)器的潔凈情況，減少朦朧圖像問題的出現(xiàn)。