澤攸科技PicoFemto掃描電鏡熱電芯片樣品臺采用MEMS微加工工藝在原位樣品臺內(nèi)構(gòu)建實(shí)驗(yàn)環(huán)境，通過MEMS芯片對樣品施加熱場和電信號等，結(jié)合使用EDS等多種不同模式，實(shí)現(xiàn)從納米層面實(shí)時、動態(tài)監(jiān)測樣品的表征變化。

? 性能指標(biāo)：

▲ 兼容指定型號掃描電鏡

▲ 最高加熱溫度：1200 ℃

▲ 控溫穩(wěn)定性：±0.1 ℃

▲ 高溫下樣品漂移：≤0.7 nm/min

▲ 高溫下圖像分辨率：≤1.2 nm@15kV

▲ 芯片兼容TEM-MEMS原位芯片樣品桿

▲ 電壓輸出最大±200 A，最小±100 nA

▲ 電流測量最大±1.5 A,最小±100 fA

▲ 自動I-V,I-t測量，數(shù)據(jù)自動保存

▲ 可搭配電學(xué)測量