原位樣品桿進腔前，一般不需要把整個腔體抽到高真空，但有幾個注意點：

先抽桿本體小體積真空或惰性氣體吹掃：很多原位桿帶有桿腔或小氣室，需要先用干凈惰性氣體吹掃，或用小型泵抽掉空氣，減少帶入腔體的雜質和水分。

避免直接帶入大氣：直接把帶空氣的桿插入高真空腔，會瞬間增加腔體壓力，影響真空穩定，并可能污染樣品或探測器。

腔體可維持中真空或保護氣氛：在一些 SEM/TEM 或原位實驗中，腔體可先保持低真空、保護氣氛或背壓狀態，再慢慢把桿推進，同時局部泵抽減少壓力波動。

桿和樣品預處理：高真空實驗中，建議桿和樣品表面清潔、干燥，有些實驗還會先在烘箱中低溫預烘，減少吸附水分和揮發物帶入腔體。